Гратон СК
Общество с ограниченной ответственностью "Гратон-СК", Москва
Работает с 1999 года
Электронная почта: plant@graton.su
Контактные телефоны: (499) 132 6009
(499) 135 4184
главная страница / вакуумная техника / оптимальный комплекс
 

"ОПТИМА"-ЛЬНЫЙ КОМПЛЕКС
Установка напыления покрытий Оптима – 1600
...или обоснование типа перспективной вакуумной установки

Парк находящегося в эксплуатации, произведённого в прошлом и производимого сейчас в нашей стране вакуумного оборудования ограничивается, с одной стороны, установками типа Оратория-9 (ВУ-2М, "Декор" и т.п.) с характерными размерами камеры D900мм на 900мм. В том же ряду находятся и немного более крупные установки А1100 немецкой фирмы "Лейбольд". С другой стороны этого ряда находятся установки производства Казанского производственного объединения "ВАКМА" типа ВУ-4М с камерой D1800мм на 2500мм. Для ряда промышленных производств мощностей установок типа Оратория-9 уже недостаточно, а установки ОАО "ВАКМА" не соответствуют многим требованиям, предъявляемым к современному высокотехнологичному оборудованию. Импортное же оборудование пока ещё имеет не слишком благоприятный критерий цена/качество для многих отечественных потребителей вакуумного оборудования.

Рассматривая вопрос создания установки, совмещающей в себе возможность напыления покрытий, например, на строительное стекло с возможностью нанесения многослойных антикоррозийных и защитно-декоративных покрытий на различные изделия средне- и крупносерийного промышленного производства приходится сделать вывод о необходимости разработки установки промежуточной размерности, объединяющей в себе последние достижения в технологии вакуумных покрытий.

Например, стандарт стекла 1605x2205мм2 требует обеспечения равномерной зоны напыления протяжённостью не менее 1600мм, соответственно и высота камеры напыления должна быть не менее 1800мм.

Архитектура современного вакуумного оборудования должна основываться на модульном принципе построения. Установка должна иметь возможность использоваться как самостоятельно в различных вариантах комплектации (например, для отработки технологии, нанесения многофункциональных покрытий на изделия серийного производства и т.д.), так и входить в состав линий непрерывного технологического процесса при доукомплектации ее устройствами типа проходного шлюза и объединения нескольких таких установок в одну линию. Это даёт возможность гибко перестраивать производство с минимальными затратами и в короткое время для нанесения различных покрытий на другие типы деталей путём замены внутрикамерной оснастки и оптимизации состава технологических устройств. Модульный принцип построения архитектуры также снижает стоимость установки при серийном производстве её в различных конфигурациях. Некоторые из разработанных вариантов показаны на рисунках. Установка в варианте вакуумного напыления на автомобильные зеркала также является базой для установки напыления тонирующих и теплосберегающих покрытий на архитектурное стекло 1600x2500мм2.

При оснащении секции напыления карусельной оснасткой с D800мм получается установка с площадью размещения деталей на карусели 1600x22002. Тогда габариты вакуумной камеры укладываются в размеры 1800x900x900мм3.
Такая установка имеет производительность в 2 раза выше (по загрузке) установок типа Оратория-9, УНИП - 900 и т.п.

Количество позиций на камере для технологических устройств (магнетронов, ионных источников и т.д.) может быть доведено до 7-8, что с одной стороны поднимет производительность установки по сравнению с типовыми еще в 2-3 раза, а с другой стороны позволяет формировать сложные многослойные композиции.

Базовая архитектура установки Оптима-1600

Конструктивно установка состоит из следующих систем:

  • вакуумной камеры напыления с системой откачки,
  • технологических устройств с системами питания и управления, предназначенных для формирования покрытий на деталях,
  • технологической оснастки, предназначенной для закрепления и перемещения деталей в процессе напыления покрытий,
  • автоматизированной системы контроля вакуума и дозированной подачи реакционных газов в процессе формирования покрытий.
Вакуумная камера имеет внутренний диаметр 950мм и внутреннюю высоту 1800мм. Предусмотрена возможность загрузки/выгрузки деталей как вручную через боковую дверь в вакуумной камере на кассетах, так и механизированно через верхний люк камеры всей технологической оснастки с деталями.

Вакуумная откачная система состоит из двух агрегатов вакуумных ротационных АВД-150/25 (состоит из двухроторного насоса и форвакуумного насоса) и двух высоковакуумных паромасляных насосов НД-500 с затворами и вакуумными клапанами, выпускаемых серийно ОАО "Вакууммаш".

Установка, в комплектации напыления зеркальных, антибликовых покрытий штатно комплектуется следующими взаимозаменяемыми технологическими устройствами:

  • тремя линейными магнетронами с длиной катода 1700мм с блоками питания и управления для формирования ионно-плазменных зеркальных покрытий,
  • одним протяжённым ионно-лучевым источником с замкнутым дрейфом электронов с линейным размером порядка 1700мм с блоком питания и управления.
Дополнительно возможна установка ещё 4-х взаимозаменяемых технологических устройств (ионных источников очистки-активации поверхности и линейных магнетронов).

Система управления построена на базе промышленных контроллеров. Каждая подсистема (вакуумная откачка, система формирования покрытия, и т. д.) управляется собственным контроллером. Общее управление, координация осуществляется с промышленного компьютера. Визуализация процесса управления и контроля производиться на мониторе.

Управление установкой может осуществляться в ручном режиме (для проведения наладки установки и отработки новых технологических режимов) и полуавтоматическом (штатный режим работы установки). Полуавтоматический штатный режим работы установки предполагает автоматическое управление общими системами установки (вакуумная откачка, вращение деталей) и управление технологическим процессом напыления под непосредственным контролем оператора.

Система управления позволяет производить регистрацию и архивирование данных работы всех основных систем установки, сбоев и неисправностей.

Система независимого водоохлаждения установки состоит из:

  • замкнутой системы водоохлаждения высоковакуумных насосов на базе чиллерной установки,
  • системы охлаждения магнетронов и ионных источников на базе малогабаритной градирни типа "Ромашка"

 

 
в начало
на главную

 

карта сайта
главная страница
напыление поверхностных слоев
триботехнические качества
историческая справка
образцы ПКХП
коррозионная стойкость ПКХП
технология ПКХП
химическая стойкость ПКХП
вакуумная техника
фотогалерея
  оптимальный комплекс
напыление автомобильных зеркал
термовакуумная установка
основные направления
покрытия на имплантанты
нирвана и сансара
испытания и исследования покрытий
апробация ПКХП
исследования ПКХП
заключение о ПКХП
исследование изностойкости
покрытия на лопатках 1
покрытия на лопатках 2
покрытия на лопатках 3
алюминидные покрытия
ТУ на ВСДП11
покрытия детонационные
средства контроля
коррозионно стойкие покрытия
испытания на коррозийную стойкость
ионно-плазменное напыление
технологические основы
мембранные технологии
цирконий для биосовместимых покрытий
технология биоинертных имплантантов
результаты исследований 1
результаты исследований 2
коррозионная стойкость
метод летучих ингибиторов коррозии
методы коррозионных испытаний
керамика
композиционная керамика
архитектурное стекло
селективное стекло
наномандула
технология построения песочных мандул
Киотский протокол
Киотский протокол 1
Киотский протокол, статьи 1-10
полемика
Киотский протокол, статьи 11-28
Венская конвенция
Монреальский протокол
мнения
глобальные проекты
космическая энергостанция
модель биосферы
залатать озоновые дыры

 

© 2005-2008 Гратон-СК